(1)光路無靜態氬氣保護。光路是封閉的非真空狀態，必須使用靜態氬保護才能確保紫外線200nm以下元素的準確分析。有時光路的靜態氬氣氣路被阻或掉下，引起光路無靜態氬。此外調節靜態氬的氣閥出現故障會出現這種現象。光譜儀啟動使用中，要確保氬氣打開20min以上才能進行狹縫掃描和工作曲線校準。由于時間太短了會導致光路靜態氬還達不到飽和而引起200nm以下元素光照強度值逐漸增加的情況。原先校準的工作曲線會導致碳、磷、硫等元素含量偏高。
(2)直讀光譜儀左、右樣品架的人射窗口被污染，使分析數據比較嚴重偏低。石英窗務必常常進行清潔，常見5%的鹽酸或酒精進行清潔。清洗之元素的光照強度值會顯著增加。安裝時要注意石英窗的密封，避免氬氣泄漏。
(3)系統運行正常，高壓供電正常，分析數據為“0”。這類故障出現在了Hg燈反射針或右架反射鏡的電感線圈部位不對時。左架曝光時，Hg反射鏡并沒有退出光路，左架激發光不能進入人射光路被Hg反射鏡擋住。在右架激發時，曝光階段右架反射鏡沒進光路，使激發光不能反射到人射光路。解決方案：
1)再次安裝反射鏡動作電感線圈推動部位。
2)直讀光譜儀查驗反射鏡動作控制信號。
3)查驗右架反射鏡是否掉下來了。
(4)同一試品左、右架激發的直讀光譜儀光照強度值不同。引起這樣的事情要調整右架反射鏡的反射偏轉角。
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